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Mirrors.Z12,壓電位移臺(tái)快反鏡,Z軸掃描,高速擺鏡;毫秒級(jí)運(yùn)動(dòng)響應(yīng),高分辨率相位調(diào)節(jié)解決方案,高動(dòng)態(tài)位置姿態(tài)定位,光路調(diào)節(jié)
X20mini,壓電陶瓷mini線性位移臺(tái),X軸掃描 外形緊湊,動(dòng)力性能不折扣的壓電線性臺(tái)
Free3D.ZTxTy.150,壓電三軸并聯(lián)位移臺(tái),三自由度,ZTT移動(dòng);由納米級(jí)驅(qū)動(dòng)單元實(shí)現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu),有效降低累積誤差;多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高。
Free6D.3-2.150.G2,壓電六軸并聯(lián)位移臺(tái),六自由度,兼容高真空;控制方式:各驅(qū)動(dòng)單元模塊通過光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制;通過專用軟件,實(shí)現(xiàn)對(duì)六軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)的解算,分配到各驅(qū)動(dòng)單元模塊,實(shí)現(xiàn)六軸空間姿態(tài)的同時(shí)調(diào)節(jié)。
Carrier.Lxxxx.XY,壓電載物臺(tái),大行程高負(fù)載,兼容無磁高真空 “Carrier. 系列“ 大行程載物臺(tái) — 精密光學(xué),半導(dǎo)體表征
Carrier.Sxxx.ZTxTy.C,壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)臺(tái),高負(fù)載通孔型,zTxTy方向;針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案;?持無磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)。