壓電光學(xué)旋轉(zhuǎn)臺(tái)通常采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),這種結(jié)構(gòu)有助于提高旋轉(zhuǎn)臺(tái)的偏轉(zhuǎn)精度和穩(wěn)定性,并且響應(yīng)速度快,能夠滿足激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整對(duì)精度和速度的要求。部分壓電光學(xué)旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用軸承技術(shù),使壓電旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的徑向、軸向和傾斜方向上的旋轉(zhuǎn)誤差都非常小,保證了旋轉(zhuǎn)的高精度。
壓電光學(xué)旋轉(zhuǎn)臺(tái)的性能優(yōu)勢(shì):
-高精度:能夠?qū)崿F(xiàn)非常精細(xì)的角度調(diào)整,可滿足對(duì)光學(xué)元件角度定位要求高的應(yīng)用場景,如自適應(yīng)光學(xué)、光束跟蹤和穩(wěn)定等領(lǐng)域。
-高分辨率:具有出色的分辨率,可以檢測到微小的角度變化,對(duì)于需要準(zhǔn)確測量和調(diào)整光學(xué)系統(tǒng)的應(yīng)用非常重要。
-快速響應(yīng):基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)方式,使得旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有較高的諧振頻率,能夠快速地完成角度調(diào)整動(dòng)作,適應(yīng)快速變化的光學(xué)實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)過程需求。
-穩(wěn)定性好:結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料選擇確保了其在工作過程中的穩(wěn)定性,減少了因振動(dòng)、溫度變化等因素對(duì)旋轉(zhuǎn)精度的影響。
4.應(yīng)用領(lǐng)域:廣泛應(yīng)用于自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中,用于校正波前畸變;在光束跟蹤和穩(wěn)定領(lǐng)域,可實(shí)時(shí)調(diào)整光學(xué)元件的角度,以保持光束的穩(wěn)定傳輸;也是激光光束掃描以及激光合束等光路調(diào)整的理想選擇,能夠準(zhǔn)確控制激光的傳播方向和聚焦位置。此外,還應(yīng)用于掃描顯微鏡、晶圓定位、干涉測量、生物技術(shù)、光學(xué)測量等眾多領(lǐng)域。
綜上所述,壓電光學(xué)旋轉(zhuǎn)臺(tái)以其高精度、高分辨率、快速響應(yīng)和良好的穩(wěn)定性等特點(diǎn),在眾多光學(xué)相關(guān)領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用,為現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用提供了有力的支持。