SH30.xyz.C,XYZ三維壓電掃描臺,高負載,兼容高真空 緊湊型 “SH 系列“ 高負載系列
SD15/30.x.C,微納壓電高速掃描臺,高速掃描運動,兼容高真空$n緊湊型 “SD系列“ 高動態系列
Sxxx.XYZ.C,壓電多維度掃描臺,三維掃描運動,兼容無磁高真空$n 緊湊型 “S 系列“ 標準版系,電容閉環控制
Sxxx.Z.C,壓電升降掃描臺,Z軸掃描運動 緊湊型 “S 系列“ 標準版系,Z 方向大行程
Sxxx.X.C,壓電陶瓷位移臺,X軸掃描,兼容無磁高真空 緊湊型 “S 系列“ 標準版系,X 方向大行程