詳細介紹
壓電·鏡片偏擺臺 Mirrors.TxTy0303/1010
? 兩維偏轉,毫秒級運動響應,高分辨率解決方案
• 兩自由度偏擺運動;
• 搖擺多行程可選;
• ms級響應;
• 主體材料:鋁合金 & 不銹鋼;
• 最高精度μrad級別;
• 控制器 MC – Archimedes.N3S;
• 閉環傳感器:SGS;
• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級;
壓電位移臺快反鏡,兩維偏轉,高速擺鏡——詳細參數:
壓電位移臺快反鏡,兩位偏轉,高速擺鏡——尺寸圖:
Mirrors.TxTy0303
Mirrors.TxTy1010
多場科技Mirrors高速擺鏡系列實現單軸/雙軸/三軸全運動行程,高動態鏡片運動控制,閉環操作;支持多自由度運動,支持無磁,高真空兼容版本;也提供大行程鏡片運動控制
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