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簡要描述:Carrier.OBxxx.C,壓電陶瓷掃描臺(tái),物鏡型,兼容無磁高真空“Carrier.OB系列“ 大行程掃描載物臺(tái) — 精密光學(xué),半導(dǎo)體表征
詳細(xì)介紹
壓電·大范圍掃描運(yùn)動(dòng) Carrier.OBxxx.C
? 針對(duì)顯微物鏡的大負(fù)載、高動(dòng)態(tài)、緊湊型解決方案,用于顯微成像、自動(dòng)對(duì)焦等應(yīng)用
• Z 方向運(yùn)動(dòng)范圍 50-400 um;
• 最快穩(wěn)定時(shí)間(90%位置穩(wěn)定)10 ms以內(nèi);
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1 nm;
• 控制器兼容多場科技MC-Archimedes Series;
• ?持無磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)選件升級(jí);
壓電陶瓷掃描臺(tái),物鏡型,兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù):
壓電陶瓷掃描臺(tái),物鏡型,兼容無磁高真空——尺寸圖:
Carrier.OB050.C
Carrier.OB100.C
Carrier.OB200.C
Carrier.OB400.C
多場科技“壓電掃描臺(tái)·物鏡型"解決方案Carrier.OB.系列主要針對(duì)精密光學(xué),半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場景,核心特點(diǎn)包括:
• Z方向單一運(yùn)動(dòng)方向,行程覆蓋50-400 um
• 快速運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定,10 ms內(nèi)完成
• 支持高負(fù)載物鏡選項(xiàng);提供多種物鏡轉(zhuǎn)接接口
• 支持第三方軟、硬件控制,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦
• 支持電容(.C) 位置傳感
• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm
• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)
• 控制器兼容多場科技 Motion Controller - Archimedes Series
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